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VA液晶屏光刻胶的配制
 

VA液晶屏光刻胶的配制:

 光刻胶的性能与光刻胶的配比有关。配比的原则是既要使光刻胶具有良好的抗蚀能力,又要有较高的分辨率。但是往往是互相矛盾的,不能同时达到。因此,必须根据不同的光刻对象和要求,选取不同的配比。

  由于光刻胶中溶剂用量的多少决定着光刻胶的稀稠,从而影响光刻胶的厚蔳,故当刻蚀细小图形时,为提高分辨率,必须采用较稀的胶,使光刻胶膜薄一些。这样光的散射和衍射作用的影响较弱,光刻出来的图形清晰,边缘整齐。但当被刻蚀的ITO层较厚时,由于腐蚀时间较长,为了满足抗蚀能力的要求,需采用较浓的光刻胶。

 

发布人:VA液晶屏 发布时间:2017年5月25日 已被浏览 1443

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